中科飞测：国产半导体量测设备龙头
公司概况
中科飞测成立于 2014 年 12 月，并于 2020 年 12 月整体变更为股份公司，目前主要产品包括系列无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备以及薄膜膜厚量测设备系列等，公司所生产的产品设备已应用于国内 28nm 及以上制程的集成电路制造产线，打破了质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。
依托多年的技术深耕积累和自主创新，多项产品已完成相关产线验证，目前公司产品已经广泛应用于中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造厂商，在精密加工领域，亦进入了蓝思科技等知名厂商：2017 年公司无图形晶圆缺陷检测设备通过中芯国际产线验证，同年三维形貌量测设备通过长电先进产线验证，并于2019 年通过了长江存储的产线验证；2018 年图形晶圆缺陷检测设备完成在长电先进产线的验证。
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主营业务及产品
公司研发产品为质量控制设备，主要包括检测设备和量测设备两大类。检测设备的主要功能是对晶圆表面或电路结构中的存在的对芯片工艺性能具有不良影响的结构缺陷进行检测。检测设备 2022 年实现收入 3.85 亿元，占据整体营收的 75.53%，是公司目前营收的主要部分，其主要两大检测设备系列：无图形晶圆缺陷检测设备系列以及图形晶圆缺陷检测设备系列设备在灵敏度和吞吐量方面实现与国际竞品整体性能相当，在长电先进、华天科技等知名进封装厂商的产线上实现无差别应用。
量测设备的主要功能系对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。2022 年收入 1.18 亿元，占整体营收 23.08%，相关设备已应用于集成电路前道制程、先进封装及精密加工领域。
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财务：主营业务收入及研发投入
2018-2022 年，公司营业收入分别为 0.30 亿元、0.56 亿元、2.38 亿元、3.61 亿元和 5.09 亿元，2018-2022 年复合增长率达 102.95%。
2021 年实现归母净利润 0.53 亿元，同比+35%。2022 年，由于公司研发费用大幅提高，实现归母净利润 0.12 亿元，同比-78%。
从公司产品结构来看，公司绝大部分收入来自检测设备和量测设备。2018-2022 年，公司检测设备收入由 0.13 亿元增长到 3.85 亿元，占比由 42.33%增至 75.49%；量测设备收入由 0.16亿元增长到 1.18 亿元，占比由 54.79%降低至 23.14%。
研发费用维持高水准。2022 年公司整体费用率为 62.66%，同比增加 17.47pct，其中研发费用率达到 40.40%，同比增加 14.04pct。
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芯片前道测量设备市场空间测算
量检测设备是芯片良率的重要保障，贯穿晶圆制造各个环节。
芯片制造过程中产生的缺陷会影响产品设备的最终良率，额外增加厂商的生产成本。根据 YOLE 的统计，工艺节点每缩减一代，工艺中产生的致命缺陷数量会增加 50%，因此每一道工序的良品率都要保持在非常高的水平才能保证最终的良品率。当工序超过 500 道时，只有保证每一道工序的良品率都超过99.99%，最终的良品率方可超过 95%；当单道工序的良品率下降至 99.98%时，最终的总良品率会下降至约 90%，因此，制造过程中对工艺窗口的挑战要求几乎“零缺陷”检测和量测环节贯穿制造全过程，是保证芯片生产良品率非常关键的环节。
检测技术分类主要有光学检测技术、电子束检测技术、X光量测技术，结合三类技术路线的特点，在实际应用场景中往往会将光学技术与电子束技术相结合，即通过光学检测设备寻找并快速锁定缺陷位置，并由电子束检测设备重访已检测到的缺陷并进行成像处理，对部分关键区域表面尺度量测进行抽检和复查，确保设备检测的精度和速度，两种技术的结合使用能够提高量检测的效率，同时降低对芯片的破坏性。
KLA 垄断市场，部分细分领域实现国产突破
2021 年全球量测设备市场上，KLA 市占率 51%，应用材料市占率 12%，日立科技市占率 9%，行业前五大公司合计市场份额占比超过了 80%，全球市场高度集中。国内市场国产化率较低， 2020 年我国半导体量测检测设备国产化率约为 2%，市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位。
公司多年深耕技术领域布局，形成多系列具有自主知识产权的核心技术体系，并在量测、检测产品和服务上的多线布局，主要设备包括：三维封装量测系统 SKYVERSE-900，表面缺陷检测系统 SPRUCE 系列以及智能视觉检测系统 BIRCH 系列等。中科飞测经过数年技术累计与研发，相关核心技术在国内处于领先地位，并实现与产业的深度融合应用， 相关设备已与国际竞品整体性能相当，可以在相关知名晶圆制造厂商的产线上实现无差别应用，助推检测设备国产化进程。
公司将技术创新在质量控制设备相关产品中进行平台化运用，进一步提升了公司整体的技术和产品优势，在国内主要集成电路制造厂商获得验证并取得批量订单，在国内市场上打破了国外厂商的垄断，其设备近年来陆续进入中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等集成电路前道制程及先进封装知名客户，在精密加工领域，亦进入了蓝思科技等知名厂商。
2020年度至2022年度公司前五大客户的收入占当期营业收入总额的比例分别为51.21%、44.32%和33.27%。虽然2020年度至2022年度前五大客户收入占比呈现逐年降低趋势，但客户集中度仍然较高。目前，公司积极进行市场拓展，客户结构亦呈现日趋多元，公司不存在向单个客户的销售比例超过公司当年销售总额的50%或严重依赖于少数客户的情形。
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同行业对比
中科飞测是国内自主研发和生产工业智能检测装备的高新企业，其检测技术在行业处于国际前沿地位，公司的核心优势为：1）公司技术研发和管理团队人才丰厚，以海外归国高才学子为核心；2）股东背景实力雄厚，与中科院微电子研究所达成深入合作，研发实力领先业界；考虑到半导体行业已开启新一轮上行周期，认为公司有望深度受益。
由于公司为高研发投入和销量收入作为成长的主要导向，半导体设备企业普遍采用 PS 估值.在行业内的主要企业中，科磊半导体、应用材料、创新科技等企业业务体系较为多元，体量规模与发行人差异较大；而上海睿励、上海精测等无全面公开数据。因此，综合考虑产品特性、客户类型等方面因素，选取中微公司、芯源微、盛美上海、华峰测控几家企业作为同行业可比公司。
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总结（核心逻辑）
1.股东背景强，华为旗下哈勃投资持股3%，中科院和深创投国资背景共持股8.9%，实控人陈鲁毕业于中国科学技术大学少年班曾任科磊半导体资深科学家和中科院微电子所研究员、博士生导师。
2.公司产品获得一线厂商订单（中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线），在行业地位属于龙头地位，且半导体未来国产替代空间巨大，未来业绩增长有亮点。
风险提示：半导体产业面临的制裁、国产化零件替代不及预期、行业内公司国外竞争加剧等。
中科飞测（688361）近期走势日K线图：
市场已经提前反应部分预期，注意节奏。
深度研究是为了更好的了解行业及公司情况，用其确定行业或者公司是否有投资价值。